您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)! 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
當(dāng)前位置:那諾中國有限公司>>刻蝕系統(tǒng)>>IBE離子束刻蝕系統(tǒng)>> NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國外
更新時間:2023-11-13 10:44:30瀏覽次數(shù):2175次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
---|
NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動上下載片,并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)勢。該系統(tǒng)所配套的所有核心組件均為。
該IBE離子束刻蝕系統(tǒng)具有很強的適應(yīng)性,可根據(jù)不同的應(yīng)用而按不同的配置進行建構(gòu)。多樣的樣片夾具和離子源配置可支持用戶不同的應(yīng)用。用于離子銑系統(tǒng)的樣片夾具可以支持±90°傾斜、旋轉(zhuǎn)、水冷和背氦冷卻。
我們的IBE離子束刻蝕系統(tǒng)可以把基片溫度保持在50°C以內(nèi)的能力。通過傾斜和旋轉(zhuǎn),可以刻蝕出帶斜坡的槽,并且改善了對側(cè)壁輪廓和徑向均勻度的控制。不同的選配項可以用于不同的網(wǎng)格配置以及中和器。濺射選配項可以支持對新刻蝕金屬表面的涂覆,以防氧化。此外,還可以選配單晶圓自動上下片功能。該系列IBM離子銑系統(tǒng)或IBE離子束刻蝕系統(tǒng)可以配置RF ICP離子源,升級為RIBE反應(yīng)離子束刻蝕系統(tǒng)。
NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕產(chǎn)品特點:
NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕設(shè)備應(yīng)用:
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責(zé),化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。