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LSC4000 半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備:Nano-Master兆聲大基片濕法刻蝕系統(tǒng)提供高可重復(fù)性、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離。它是集成式的...
SWC4000 掩模版兆聲清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復(fù)性、高均勻性及高潔凈度的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕...
NIE-4000 IBE離子束刻蝕機:如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。樣品表...
光學(xué)鍍膜設(shè)備:NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進的技術(shù),在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣...
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng): NM的微波PECVD能夠沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達12" 的基片.淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源,...
NLD-3500(M)原子層沉積系統(tǒng):ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的...
兆聲清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復(fù)性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該系統(tǒng)配套機械手,也可以升級...
NLD-4000(M)原子層沉積系統(tǒng):ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的...
NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng):如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。通常情...
NSC-3500(A)全自動磁控濺射系統(tǒng):立式自動系統(tǒng),帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達6“旋轉(zhuǎn)平臺,支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵...
NSC-4000(M)磁控濺射系統(tǒng):帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達到到8“旋轉(zhuǎn)平臺,支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達1...
NLD-4000(ICPA)全自動PEALD系統(tǒng):ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術(shù)。由于...
NRE-4000(ICPA)全自動ICP刻蝕系統(tǒng):自動上下載片,帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實...
NRE-3000 反應(yīng)離子刻蝕機:PC控制的RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔...
RIE刻蝕機:獨立式RIE系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,...
進口晶圓清洗機:Nano-Master進口兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復(fù)性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、...
SWC-4000兆聲晶圓(掩模版)清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復(fù)性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕...
NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng):立式自動系統(tǒng),帶有水冷或者加熱(Z高可加熱到700度)功能,Z大到6“旋轉(zhuǎn)平臺,Z大可支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配...
NRE-4000(ICPM)ICP等離子刻蝕機:是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實現(xiàn)范圍廣泛的刻...
SWC-5000全自動兆聲晶圓清洗機:Nano-Master兆聲單晶圓及掩模版清洗機提供高可重復(fù)性、高均勻性及的兆聲清洗、兆聲輔助下光刻膠剝離,以及濕法刻蝕。該...
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