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NEE-4000(A)全自動電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預真空鎖...
NEE-4000(M)電子束蒸發系統:NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩個腔體之間的門閥可以作為預真...
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