產(chǎn)品概述：
PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器，為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。它源自掩模制作工具，具有所有先進(jìn)的 VPG 系統(tǒng)組件，能夠以高的精度和準(zhǔn)確度進(jìn)行書寫。大寫入?yún)^(qū)域覆蓋 。
寫入模式 | 一 | 二 |
寫作表現(xiàn) | ||
小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
小行數(shù)和間距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
地址網(wǎng)格 [nm] | 4 | 8 |
邊緣粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 |
CD均勻度 [3σ， nm] | 50 | 60 |
2鼈層對(duì)齊（全局）[nm] | 100 | 130 |
寫入速度 [mm2/分鐘] | 340* | 1020* |
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒(méi)有規(guī)格 | ||
100 x 100 mm 的曝光時(shí)間2面積 [min] | 39 | 17 |
系統(tǒng)特點(diǎn) | |
光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 |
大基板尺寸和寫入面積 | 300 x 300 毫米2 |
基板厚度 | 0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度） |
大曝光面積 | 300 x 300 毫米2 |
自動(dòng)對(duì)焦 | 實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動(dòng)） |
自動(dòng)對(duì)焦補(bǔ)償范圍 | 高達(dá) 80 μm |
流量箱 | （閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗(yàn)箱 |
對(duì)準(zhǔn)和計(jì)量 | 用于測(cè)量和對(duì)準(zhǔn)的相機(jī)系統(tǒng)和軟件包 |
其他功能和選項(xiàng) | 100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動(dòng)處理和預(yù)對(duì)準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測(cè)、頂部對(duì)準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對(duì)準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺(tái)和高分辨率差分干涉儀 |
系統(tǒng)尺寸 | |
系統(tǒng) / 電子機(jī)架 | |
寬度 [mm] | 2605 / 800 |
深度 [mm] | 1652 / 650 |
高度 [mm] | 2102 / 1800 |
重量 [kg] | 3550 / 180 |
安裝要求 | |
電氣 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 |
壓縮空氣 | 6 - 10 巴 |
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