改良后的硅芯爐設計采用兩個直徑約為50毫米的源桿,并可以從每個源桿上拉出硅芯。
產品數據概覽:
材料:硅
細桿
長度: 最長3200毫米
直徑: 大約8毫米
源桿
長度: 最長 1,000 mm
直徑: 100 mm (4")
極限真空度: 5 x 10-2 mbar
最大過壓: 0.35 bar(g)
發電機
輸出電壓: 30 kW
頻率: 2.8 MHz
上拉式進料
拉動速度: 最高60毫米/分鐘
下拉式進料
拉動速度: 最高 10 mm/min
轉速: 高達 20 rpm
尺寸規格
高度: 7,300 mm
寬度: 1,820 mm
深度: 1,250 mm
占地面積(總計): 2,500 mm x 2,800 mm
重量(總計): 約6,000 kg
區熔(FZ)技術作為提純方法為生產高電阻率的超純硅單晶提供了技術可行性,該技術可應用于高性能電子和半導體技術領域。其另一優點是可以從氣相中連續摻入,這使得在整個晶體的電阻率沿長度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個晶體上均勻地實現所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業。
區熔(FZ)技術作為提純方法與CZ直拉工藝等競爭方法相比,FZ工藝的優勢在于只有緊鄰感應線圈的一小部分晶體需要被熔化,無需使用石英坩堝(每爐次耗用一個),可實現高拉速,因此降低了耗材成本的同時也降低了能源成本。此外,無論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過多次處理,顯著地提高純度。