1. 產品概述:
皮拉尼真空計,可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。
2. 特點
測量范圍:可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高:具有高抗沖擊性的結構設計
優異的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度均在±20%以內
燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高:配備可確認異常的LED
一觸式調整:一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整
維護:更換測定子更輕松
適用測定子擴展:除了NW16 / 25規格外,還將Φ15/ 18規格,拼接法蘭規格和錐形螺絲R1 / 8規格添加到產品陣容中
3. 用途
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空域的工藝控制
用于爐等各種工業設備的低真空域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統