SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是專門為電子器件、電路板、IGBT和其他復(fù)雜部件的生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列。該系統(tǒng)符合10級潔凈室標準,主要應(yīng)用包括驗證缺陷,如:縫隙、氣泡、孔洞、夾雜物、脫層區(qū)域、焊接或銀燒結(jié)界面的厚度變化等,支持同時檢查多個界面。
SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是專門為內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)控制而開發(fā)的產(chǎn)品系列,符合100/1000級無塵室標準,該系統(tǒng)專為檢測晶圓界面、晶圓鍵合、 MEMS 產(chǎn)品、或者混合粘合應(yīng)用而設(shè)計,可用于檢測空洞、夾雜物或分層或微空隙。多傳感器配置可使得晶圓檢測通過率高。
SAM 大視場掃描系統(tǒng):SAM大視場系列是專門為分析DCB’s或電源模塊而開發(fā)的產(chǎn)品系列,可支持檢測掃描范圍為300µm x 300µm到1300mm x 1300mm。多至8個傳感器可實現(xiàn)超高檢測通過率。該系統(tǒng)包括自動缺陷審查軟件、GEM/SECS通訊,以及MES通訊。激光打標站和分類輸出端口可供選擇。