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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>1 光刻設(shè)備>> KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)KS-S150
品牌芯源
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時(shí)間：2024-09-04 17:31:57瀏覽次數(shù)：357次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)1.產(chǎn)品概述：
KS-S150星型全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)是由沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司研發(fā)的勻膠顯影設(shè)備，用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導(dǎo)體的涂膠顯影等制程。可兼容藍(lán)寶石、砷化鎵和碳化硅等材質(zhì)的晶圓，產(chǎn)品涉及多個(gè)應(yīng)用域，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)。設(shè)備通過(guò)了CSA認(rèn)證。
2.應(yīng)用領(lǐng)域：
傳感器芯片制造
光通信芯片制造
功率芯片制造
LED芯片制造
圖形化襯底制造
化合物半導(dǎo)體域
3.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1.占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護(hù)方便；
2.產(chǎn)能高，涂膠機(jī)產(chǎn)能大于190片/小時(shí)；
3.光刻膠用量小，4寸用量0.6ml；
4.優(yōu)異的流場(chǎng)設(shè)計(jì)，涂膠均勻性好。
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