1 產品概述:
自動氦檢漏設備，特別是氦質譜檢漏儀，是一種高精度、高靈敏度的氣體泄漏檢測設備。它利用氦氣作為示蹤氣體，通過質譜儀分析技術，能夠迅速定位并測量封閉設備或系統中的微小泄漏。這類設備廣泛應用于多個領域，如半導體制造、航空航天、制冷空調、汽車制造、真空技術、核工業以及醫療設備等，確保產品和系統的密封性能達到要求。
2 設備用途：
半導體制造：用于檢測封裝、真空腔體、氣路系統等是否存在漏氣，確保產品質量。
航空航天：檢測航天器和火箭的燃料系統、生命支持系統、熱控系統等關鍵部位的微小泄漏，保障飛行安全。
制冷空調：檢測蒸發器、冷凝器、管路等部件的漏氣問題，提高系統性能。
汽車制造：檢測空調系統、燃油系統、制動系統等關鍵系統的泄漏，確保汽車的安全性和可靠性
3 設備特點
高靈敏度：自動氦檢漏設備能夠快速發現和定位極小的泄漏點，甚至能檢測到極低濃度的氦氣，這是其最為突出的特點之一。
高精度：通過精確的質譜分析技術，設備能夠準確測量氦氣的濃度，從而精確定位泄漏點，提高檢測的準確性。
檢測范圍廣：適用于多種設備和系統的泄漏檢測，包括但不限于上述提到的領域。
4 技術參數和特點：
• 測試臺上采用了旋轉機構，使得工件裝卸作業時間減半。
• 由于He氣體封入工藝和檢漏工藝分別在不同的地方進行，可以大幅縮短處理時間。
• 搭載He檢漏儀【HELIOT-ZERO】，可確認真空排氣中從檢查品漏出的He氣體。
• 因為可高速處理，可減少測試腔體數，節省空間。
• 可減少一個腔體，作業位置無需移動，提高作業效率。
• 設備模塊化，現地安裝時間可以縮短。
• 由于泵可從設備本體中單獨取出的構造，方便進行修理。
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