光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型

光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型

　　如何選擇合適的工業(yè)冷水機(jī)組，在機(jī)組的設(shè)計(jì)上又應(yīng)該注意哪些方面呢?

　　1. 使用光刻機(jī)溫度控制裝置還是水冷式冷水機(jī)

　　工業(yè)冷水機(jī)組的冷凝方式分為風(fēng)冷式和水冷式，對(duì)應(yīng)的設(shè)備也常被稱為光刻機(jī)溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機(jī)組，光刻機(jī)溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風(fēng)冷的冷凝方式

　　2. 確定制冷量需求

　　需要計(jì)算待控溫設(shè)備實(shí)際應(yīng)用所需要的制冷量是多少，通常可以根據(jù)客戶所提供的制冷量或壓縮機(jī)功率要求來直接確定，也可以根據(jù)實(shí)際工藝情況和經(jīng)驗(yàn)來進(jìn)行估算，需要注意的是通常所說光刻機(jī)溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結(jié)合實(shí)際環(huán)境溫度等因素來計(jì)算。

　　3. 蒸發(fā)器的選擇

　　蒸發(fā)器類型：盤管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器

　　蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料

　　4. 循環(huán)水泵的選擇

　　應(yīng)結(jié)合應(yīng)用設(shè)備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來確定光刻機(jī)溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚(yáng)程。

　　光刻機(jī)溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。