光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

光刻機水冷機組定時保養(yǎng)知識須知

　　掌握調(diào)整蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行功率的方法，企業(yè)運行滿足需求的前提下，控制蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的運行功率。控制蝕刻機冷卻循環(huán)裝置處于低效率運行狀態(tài)，能夠減少設(shè)備消耗的數(shù)量。

　　一、用電環(huán)境要好

　　想要降低蝕刻機冷卻循環(huán)裝置電量，需要為蝕刻機冷卻循環(huán)裝置提供優(yōu)良的用電環(huán)境。例如用電環(huán)境的電壓比較低，蝕刻機冷卻循環(huán)裝置設(shè)備為保持穩(wěn)定的運行效率，必然加大電能的消耗。

　　二、設(shè)備的運作要提前計劃好

　　加入要維護蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的和系統(tǒng)的穩(wěn)定，那么要以前做好設(shè)備的運作計劃，不論什么設(shè)備都要有提前的計劃，如果沒有會使機器滿負荷運載，這就會影響到蝕刻機冷卻循環(huán)裝置運行的。

　　三、要定期的保養(yǎng)

　　對蝕刻機冷卻循環(huán)裝置進行定期的維護可以保證蝕刻機冷卻循環(huán)裝置的壽命的煙瘴，不論是什么設(shè)備只要維護好了，那么設(shè)備的效能也會相應(yīng)的會減少的慢。

　　四、四周環(huán)境的影響

　　現(xiàn)在的環(huán)境對機器的影響還是比較大的，好的環(huán)境會提供機器的效能，相反則會降低機器的效能，所以好的環(huán)境對機器是有一定的影響的。

　　五、冷凝器的溫度

　　冷凝溫度的降低會是冷卻效果更好，因為在開始使用的時候，冷卻塔時會有一定的裕量，所以需要加大原有的冷卻塔水，讓冷卻水的效能更好。

　　六、配置可調(diào)節(jié)線圈

蝕刻機冷卻循環(huán)裝置在運行的時候，如果運行時間較長，能源消耗非常多。可以為蝕刻機冷卻循環(huán)裝置安裝調(diào)節(jié)線圈，根據(jù)環(huán)境溫度調(diào)整適合的運行功率。