襯底的定義

1. 襯底的物理與化學性質

襯底，或稱基片（substrate），是指在半導體器件制造過程中用來支持其他材料或結構的底層材料。襯底的物理性質包括其晶體結構、機械強度、熱導率、膨脹系數等，而化學性質則涵蓋其純度、表面化學穩定性、化學反應活性等。常見的襯底材料如硅（Si）、砷化鎵（GaAs）、碳化硅（SiC）等，因其物理與化學性質而被廣泛應用。

2. 襯底的作用與功能

在半導體制造中，襯底起到至關重要的支撐作用。首先，襯底為后續的材料沉積和器件制作提供了一個平整且穩定的基礎，其次，襯底材料的選擇直接影響器件的性能和制造成本。此外，襯底還需具備良好的機械強度和熱導率，以支持器件在高功率和高溫條件下穩定運行。