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那諾中國有限公司
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NIE-3500(A)全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地國外

更新時(shí)間:2023-11-13 12:46:30瀏覽次數(shù):1356次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥
NIE-3500(A)全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng):是一款自動(dòng)放片/取片,并且工藝過程為全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。

Ion Beam離子束清洗

NIE-3500(A)全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動(dòng)上下載片,并且通過計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)勢(shì)。該系統(tǒng)所配套的所有核心組件均為。

NIE-3500(A)全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 低成本
  • 帶預(yù)真空鎖,自動(dòng)上下載片
  • 離子束:高達(dá)2KV/10mA
  • 離子電流密度100-360uA/cm2
  • 離子束直徑:4",5",6"
  • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
  • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
  • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
  • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 占地面積30"x30"

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 表面處理
  • 離子銑
  • 表面清洗
  • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕

 

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