日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

SiC 高溫離子注入機(jī)IH-860PSIC

這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機(jī)。

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