日本ULVAC愛發科半導體兼容高能離子注入機

日本ULVAC愛發科半導體兼容高能離子注入機

兼容高能離子注入機SOPHI-400

這是一種高能離子注入機，可處理高達 1200keV 的電壓。

中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發。

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