1. 產品概述：
英思特硅芯清洗機是專門用于硅芯清洗的設備，通過一系列特定的清洗工藝和技術，有效去除硅芯表面的雜質、污垢、氧化物等，以達到硅芯在半導體制造等領域應用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統、傳輸系統、電氣控制系統等部分組成，各部分協同工作，實現對硅芯的自動化清洗流程。
2. 設備應用：
· 半導體產業：在半導體芯片制造中，硅芯是重要的基礎材料。硅芯清洗機用于清洗硅芯，為后續的外延生長、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面，確保芯片的質量和性能。例如，在制造高純度的半導體器件時，硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學性能和可靠性。
· 光伏產業：用于光伏電池生產中硅芯的清洗，提高硅芯的表面質量，從而提升光伏電池的轉換效率和穩定性。
3. 設備特點：
1.產品用途:適用于2"~8"硅芯清洗
2.設備介紹:本設備為柜體式腐蝕機,整臺設備均采用進口件.
基本材質:箱體材質:德國茲白色聚丙烯(PP)
門板材質:德國透明聚氯乙烯(PVC)
腐蝕槽材質:德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)
清洗槽材質:德國自然色聚丙烯板(NPP)
腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器
清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置
整機外形美觀,實用
3.設備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)
4.設備重量:8000Kg(約)
5,設備控制方式: PLC結合操作觸摸屏控制
6.設備動力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制
整機額定電功率(參考):20KW
電氣性能:E級,并有良好的接地
水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25
DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25
氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)
排廢:DN50
排廢酸:DN40
排風:DN200
環境要求:空氣溫度5-40°C;相對濕度:80
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