1. 尺寸
48英寸（寬）x433/8英寸（深）x741/4英寸（高）（121.9厘米（寬）x110.04厘米（深）x188.60厘米（高）
2. 典型工藝
蝕刻
顯影—水性/溶劑
清潔—水性/溶劑
硫酸/過氧化物（原位混合）
HBr
溫控顯影
漂洗/烘干
3. 特征
全聚丙烯結構（可提供自熄功能）
適合安裝任何Laurell旋轉處理器
穿孔濕甲板（易于拆卸）
濕式增壓室
帶儀表的排氣增壓室
下方為加熱器、泵、容器的隔離組件/抽屜......
4. 選項
觸摸屏控制界面
觀看LaurellTouch演示視頻
處理器排氣聯鎖（EDC™型號標配）
化學加熱
通過壓力容器物料攪拌（磁性）
沖洗至電阻率
排水分流器
真空裝載棒
晶圓盒支架
泄漏檢測
燈塔
如有需要，可提供高材料
5. 阻燃選項
WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合嚴格的FMRC4910測試標準對于大多數方面的阻燃性、自熄性和燒穿特性。這種先進的材料還達到或超過了低煙霧產生和小有毒副產物的測試標準。
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