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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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原子層沉積（ALD）

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號FlexAL

品牌OXFORD/英國牛津

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間：2024-08-12 11:04:26瀏覽次數(shù)：146次

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價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,電氣
FlexAL系統(tǒng)可提供遠(yuǎn)程等離子體原子層沉積（ALD），這為納米結(jié)構(gòu)和器件的工程設(shè)計提供了一系列新的靈活性和可行性。ALD產(chǎn)品家族涵蓋的系列設(shè)備可以滿足學(xué)術(shù)界、企業(yè)研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的多種需求。

  • 在同一設(shè)備中可靈活使用遠(yuǎn)程等離子體與熱ALD

  • 集群式配置保證始終于真空下傳送襯底

  • 盒式對盒式操作可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)

  • 對材料和氣體/液體源的選擇具有更大的靈活性

  • 等離子體ALD可進(jìn)行低溫工藝

  • 使用遠(yuǎn)程等離子體以確保低損傷

  • 通過配方驅(qū)動的軟件界面實現(xiàn)可控的和可重復(fù)的工藝

  • 可處理高達(dá)200mm的晶圓


  • 牛津儀器有大量的工藝儲備，并且還在不斷開發(fā)新的工藝。我們?yōu)樗械腁LD設(shè)備提供延續(xù)不斷的工藝支持，我們還將為您提供關(guān)于開發(fā)新材料的建議，同時繼續(xù)與您共享包括新工藝配方在內(nèi)的新的ALD工藝進(jìn)展。

  • 氣體/液體源前驅(qū)體模式上 - 一體化手套箱 —— 實時轉(zhuǎn)換

  • 一體化端口 - 允許添加實時橢偏儀測量工具

  • 集群式配置 - 始終于真空下傳送襯底

  • 盒式對盒式操作 - 可提高產(chǎn)能以適于量產(chǎn)

  • 機器手臂與片盒式 - 可處理100mm，150mm或200mm晶圓（無需額外設(shè)備進(jìn)行晶圓交換）

  • 所有系統(tǒng)都可以放置于超凈間內(nèi)或嵌入墻體 - 易于放置

  • 自動化的200mm晶圓真空傳送 - 工藝靈活性




部件鍍膜設(shè)備

部件鍍膜設(shè)備實現(xiàn)高大量生產(chǎn)率的高真空基礎(chǔ)In-line Sputter

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