1. 產(chǎn)品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng),適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設(shè)備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng),適用于 260-1200℃快速熱處理工藝,高精度溫度控制,提供優(yōu)異工藝,低成本,高產(chǎn)能。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 12 英寸,適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外,12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域,展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用,對(duì)于推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?