一、產品概述:
掃描電鏡等離子清洗機是一款專為掃描電子顯微鏡(SEM)樣品準備而設計的高效清洗設備。該機利用等離子體技術,通過活性氣體的激發,去除樣品表面的有機污染物和微塵,確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質量成像。掃描電鏡等離子清洗機具有快速、均勻的清洗效果,并能夠處理各種材料,包括金屬、陶瓷和聚合物等。其自動化控制系統使得操作簡單便捷,廣泛應用于材料科學、納米技術和生物醫學等領域,為研究人員提供可靠的樣品處理解決方案。
CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
二、設備用途/原理:
·設備用途
掃描電鏡等離子清洗機主要用于準備掃描電子顯微鏡(SEM)樣品,去除樣品表面的有機污染物、微塵和其他雜質。它廣泛應用于材料科學、納米技術和生物醫學等研究領域,以確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質量成像。
·工作原理
該設備通過等離子體技術進行清洗。首先,等離子清洗機將特定的氣體(如氧氣或氬氣)引入反應室,并通過高頻電源激發氣體形成等離子體。等離子體中的活性粒子與樣品表面的污染物反應,分解并去除這些雜質。該過程能夠快速且均勻地清洗各種材料,確保樣品表面達到所需的清潔度,從而提高掃描電子顯微鏡的成像質量和分析準確性。
三、主要技術指標:
產品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40(CF40) |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調, |
遠程等離子源,自動匹配器 | |
氣體控制 | 標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min |
質量保證 | 二年質保,終身維護 |
四、產品特點
1.遠程等離子清洗源
2.清洗快速、高效
3.低轟擊損傷