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當前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司>>元器件高低溫測試機>>Chiller>> LTS-202邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 10萬-50萬 |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應用領域 | 化工,生物產業,電子,制藥,汽車 |
主要產品包括半導體專?溫控設備、射流式?低溫沖擊測試機和半導體??藝廢?處理裝置等?設備，
?泛應?于半導體、LED、LCD、太陽能光伏等領域。
半導體專溫控設備
射流式?低溫沖擊測試機
半導體專用溫控設備chiller
Chiller氣體降溫控溫系統
Chiller直冷型
循環風控溫裝置
半導體?低溫測試設備
電?設備?溫低溫恒溫測試冷熱源
射流式高低溫沖擊測試機
快速溫變控溫卡盤
數據中心液冷解決方案
| 型號 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 內循環液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 （DI溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| 電源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 溫度擴展 | 通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃ | ||||||
邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷
邊緣刻蝕單通道chiller 離子注入工序制冷
半導體專用溫控設備（Chiller）主要用于半導體制造過程中準確控制反應室的溫度。半導體專用溫控設備利用制冷循環和工藝冷卻水的熱交換原理通過對半導體工藝設備使用的循環液的溫度、流量和壓力進行控制，以實現半導體工藝制程的控溫需求，是集成電路制造過程中的關鍵設備。
半導體專用溫控設備（Chiller）依據不同工藝制程要求控制給定溫度的循環液流經半導體工藝設備反應腔內，將熱量帶入半導體專用溫控設備，半導體專用溫控設備通過熱交換器將熱量傳遞給制冷劑，再通過制冷劑將熱量釋放給工藝冷卻水，從而實現對工藝制程的溫度控制。
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