當前位置:江蘇雷博科學儀器有限公司>>鍍膜設備>> 鈣鈦礦鍍膜設備
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
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應用領域 | 化工,生物產業,能源,電氣,綜合 |
功能特點 |
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技術參數 | |
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鍍膜室 | 不銹鋼材料,采用方形前后開門結構,內帶有防污板,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm |
真空排氣系統 | 采用分子泵+機械泵系統 |
真空度 | 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa |
系統漏率 | ≤1×10-7Pa |
蒸發源 | 安裝在真空室的下底上;有機蒸發源4個、容積5ml,2臺蒸發電源,可測溫、控溫,加熱溫度400℃,功率0.5KW;無機蒸發源4套、容積5ml,2臺蒸發電源,加熱電流300A,功率3.2KW;蒸發源擋板采用自動磁力控制方式控制其開啟 |
樣品架 | 安裝在真空室的上蓋上,可放置Ø120mm的樣品、載玻片,旋轉速度0-30rpm |
加熱溫度 | RT-180℃,測溫、控溫 |
膜厚控制儀 | 石英晶振膜厚控制儀,膜厚測量范圍0-999999Å |
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