加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  （最大可安裝φ50基底）

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1800℃

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）  

數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）

分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）