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Hitachi CG4000是一款臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）.它專為超精細半導體器件而設計.

以下是一些主要規格和功能：

• 分辨率：1.8nm（加速電壓：800V）

• 重復性：±1% 或 0.3 nm （3 sigma）（采用日立標準晶圓）

• 晶圓尺寸：300mm（200mm）

• 產量：36 片晶圓/小時（晶圓上有 20 個測量點）

• 加速電壓：300 - 1,600 V （10V步進） （200 - 2,000 V：可選）

• 它提供高分辨率、高精度的計量可重復性

• 它包括高精度平均 CD （ACD） 計量功能

• 它支持行業標準的線邊緣粗糙度 （LER） 計量功能

• 它具有改進的可操作性和自動維護功能

該器件被廣泛用作半導體工藝中CD測量的主要工具.它能夠實現亞納米級的測量精度以及高分辨率、高精度的計量可重復性和高通量.它旨在應對半導體行業設計規則不斷縮小時對過程控制的嚴格要求.它是一款功能強大的工具，可提供寬加速電壓范圍、高靈敏度數字成像、電荷保護校正、能量濾波器功能、精確運動控制以及自動樣品交換和聚焦.