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北斗中頻發生器BDS-MF Generator BDiscom
普索貿易
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BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高|低電壓交流等離子體發生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發生器，最大功率為 5、10 或 15 kW，專為 PECVD 或等離子體清潔應用中的等離子體激發而設計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。
輸出為平衡型，可驅動2個對稱電極。典型應用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個*的功能是內置 2 個（標準）或 3 個（根據要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。
用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數字 RS232 或 Profibus（根據要求）。
亮點和好處：
內置輸出匹配變壓器，無需外接盒。
風冷機組。沒有與潮濕或漏水相關的風險。
全功率，環境溫度高達 40C°。
模擬接口。
可根據要求提供 Profibus 接口。
前面板顯示屏使安裝和故障排除更容易。
高效率>90%。
結構緊湊輕便，僅重 20kg，4UI。
直流等離子發生器
我們處理來自 TRUMPF Hüttinger 的直流發電機和直流脈沖等離子體勵磁發電機。在直流等離子體激發方面，直流發電機是經典之作。如今，直流發生器作為低成本進入等離子體激發技術的一個例子，被用于許多應用中。直流脈沖等離子體激勵非常適用于多種反應過程。與簡單的直流發電機相比，脈沖直流電能夠處理半導電材料和非導電材料，例如氧化物。
特征
無缺陷表面和高鍍膜速率——即使在非常苛刻的直流濺射工藝中也是如此。
集成水冷或風冷變體
緊湊的設計
應用
使用直流磁控濺射的功能涂層可提高表面硬度和靜摩擦力
涂層表面具有更好的熱穩定性和化學穩定性
用于各種材料的紙薄金屬層涂層的金屬化工藝，以獲得光學或電學性能
光伏電池、觸摸屏等中的導電材料 (TCO) 涂層。
建筑玻璃濺射鍍膜
