機臺名稱：真空等離子處理機
機臺型號：PM80L
整機規(guī)格：8層 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
電極規(guī)格：8層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統(tǒng)：1KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持
用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等等。
?1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結(jié)合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

鋰電池隔膜基體材料主要包括聚丙烯、聚乙烯材料和添加劑。隔膜所采用的基體材料的優(yōu)劣在于電解液的浸潤性和吸液保濕能力直接的聯(lián)系，由于基體材料的本身特性，浸潤性交差，需用相應(yīng)的工藝來提高其親水性，而低溫等離子體處理技術(shù)恰能極大的提高隔膜基體材料的浸潤性和電解液吸收能力。