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COIL用薄膜90度位相延遲高反射鏡的研制

2012-12-5  閱讀(2447)

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1、(中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所,遼寧大連116023)

2、( 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所,吉林長(zhǎng)春130021)

摘!要:隨著氧碘化學(xué)激光器(COIL)的不斷提高,傳統(tǒng)的膜系設(shè)計(jì)已不能滿足要求。在倍頻膜系的設(shè)計(jì)基礎(chǔ)上,優(yōu)化設(shè)計(jì)出了激光45度入射對(duì)1315nm和632.8nm雙波長(zhǎng)高反(HR)并在1315nm處具有90度相位延遲的高反射鏡,其基底材料為融石英,高折射率材料為ZrO2,低折射率材料為SiO2。然后,采用電子束蒸發(fā)手段制備了口徑為200nm的高反射相位遲鏡。zui后對(duì)該延遲鏡的性能進(jìn)行了測(cè)試,結(jié)果表明:對(duì)632.8nm的 波長(zhǎng)的反射率大于等于95.0% ,對(duì)1315nm波長(zhǎng)的反射率大于等于99.8% ,位相延遲在90.235度到95.586度。
關(guān)鍵詞:氧碘化學(xué)激光器;位相延遲;倍頻膜系
中圖分類號(hào):TN258.5           文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A

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