株式會(huì)社日立高新技術(shù)（社長(zhǎng)：飯泉 孝／以下稱：日立高新技術(shù)）將于近期開始銷售小型探針顯微鏡AFM100系列，該系列追求操作性并提高了處理量，可用于科學(xué)研究開發(fā)以及質(zhì)量管理，包括原子力顯微鏡（AFM：Atomic Force Microscope / 以下稱：AFM）高性能AFM100 Plus及其入門型號(hào)AFM100兩種機(jī)型。

AFM作為一種掃描探針顯微鏡（SPM : Scanning Probe Microscope），使用前端直徑為數(shù)納米（1納米：百萬分之一毫米）的尖銳探針掃描樣品表面，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的樣品表面的形貌觀察和物性映射評(píng)估。AFM已廣泛應(yīng)用于電池材料、半導(dǎo)體、高分子、生物材料等各個(gè)領(lǐng)域的科學(xué)研究開發(fā)和質(zhì)量管理。

過去，操作AFM的工序繁瑣，不僅要用鑷子夾住裝有探針且寬度約為1mm的懸臂，將其設(shè)置在裝置上，還要在懸臂前端探針掃描樣本表面時(shí)進(jìn)行接觸狀態(tài)控制和掃描速度調(diào)整等步驟。因此，從開始測(cè)量到獲取數(shù)據(jù)，其間的總處理量較低。測(cè)量人員的操作熟練程度和使用感覺差異會(huì)導(dǎo)致測(cè)量條件設(shè)置不同，繼而引發(fā)所獲得的數(shù)據(jù)產(chǎn)生差異等問題。

 日立高新技術(shù)此次開發(fā)的AFM100/100Plus旨在解決上述問題，推動(dòng)具有高操作性的AFM裝置在工業(yè)領(lǐng)域和科學(xué)研究開發(fā)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)普及。通過使用AFM100/100Plus，任何人都能輕松且穩(wěn)定地獲取可靠數(shù)據(jù)，從而完成從科學(xué)研究用途到質(zhì)量管理中的日常作業(yè)。特別是AFM100 Plus，其用途十分廣泛，可用于從觀察石墨烯和碳納米纖維等納米材料，到超過0.1 mm的大范圍3D形貌觀察、粗糙度分析、物性評(píng)估等領(lǐng)域。

本產(chǎn)品的主要特點(diǎn)如下。

１. 提高了操作性、可靠性及總處理量

為簡(jiǎn)化過去操作繁瑣的懸臂更換，采用新開發(fā)的預(yù)裝方式*1懸臂，提高了操作性。而且，通過配備自動(dòng)向?qū)Чδ埽€可以根據(jù)樣品的表面形貌，自動(dòng)設(shè)置最佳測(cè)量條件，對(duì)探針進(jìn)行接觸狀態(tài)控制和掃描速度調(diào)整等，任何人測(cè)量都可以得到穩(wěn)定的結(jié)果，從而提高了數(shù)據(jù)的可靠性。此外，該機(jī)型支持自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量，只需點(diǎn)擊一下，從測(cè)量，到圖像數(shù)據(jù)分析、保存可一次性完成，大大縮短了數(shù)據(jù)測(cè)量分析時(shí)間。

２. 提高了與本公司SEM裝置的親和性　

選配功能“AFM標(biāo)記功能”通過采用日立高新技術(shù)自主開發(fā)的SÆMic．（SÆMic：AFM-SEM相關(guān)顯微鏡法）觀察方法，提高了與掃描電子顯微鏡SEM（Scanning Electronic Microscope）的親和性。在觀察樣品的同一位置時(shí)，可以充分發(fā)揮各個(gè)設(shè)備的特性，對(duì)樣品進(jìn)行機(jī)械特性、電氣特性、成分分析等檢測(cè)，易于開展多方面分析。

３. 實(shí)現(xiàn)裝置的擴(kuò)展性和持續(xù)性

為確保用戶可長(zhǎng)期使用，該裝置標(biāo)配控制軟件免費(fèi)下載服務(wù)和能夠自行診斷意外故障因素的自檢功能。因此，用戶只需自己動(dòng)手進(jìn)行軟件升級(jí)，即可始終保持最新性能。

日立高新技術(shù)今后也會(huì)繼續(xù)提供以本產(chǎn)品為代表的創(chuàng)新解決方案，與客戶攜手創(chuàng)造全新社會(huì)及環(huán)境價(jià)值，為產(chǎn)品制造作出貢獻(xiàn)。

*1 預(yù)裝方式：在用于安裝懸臂的盒式芯片上預(yù)先安裝懸臂的方式。

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