目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>表面微納測(cè)量>>晶圓翹曲度測(cè)量?jī)x>> FPACT-Closed-Loop閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)DM低階像差校正
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更新時(shí)間：2021-12-07 11:47:43瀏覽次數(shù)：577評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,航天,電氣 |
|---|---|---|---|
| 波長(zhǎng)范圍 | 400-1000nm |
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)是針對(duì)激光束在激光加工過程中產(chǎn)生的低階像差進(jìn)行校正的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。該閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)由雙壓電晶片變形鏡（DM）作為波前校正器，采用改進(jìn)的Shack-Hartmann技術(shù)測(cè)量波前梯度的和實(shí)現(xiàn)閉環(huán)算法的軟件組成。
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)規(guī)格
•輸入光束孔徑-高達(dá)500 mm
•波長(zhǎng)范圍-400…1100 nm（或根據(jù)客戶要求）
•波前采樣-20x20 lenslet子孔徑或更多
•工作頻率-高達(dá)100Hz
•最大校正像差-高達(dá)30λ@632.8 nm
•校正精度-優(yōu)于λ/10@632.8 nm
•工作電壓-100-120和200-240VAC@50/60Hz
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)軟件包括：
•參考波前測(cè)量
•DM響應(yīng)函數(shù)的測(cè)量
•P-V，RMS的計(jì)算
•參考波前的保存與恢復(fù)
•閉環(huán)算法的“凍結(jié)"
•顯示控制電壓、電壓條、條紋、澤尼克系數(shù)、澤尼克條、波前梯度、參考狀態(tài)
閉環(huán)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)包裝：
•變形雙晶片鏡
•雙晶片反射鏡控制器
•哈特曼波前傳感器
•M2傳感器（可選）
•計(jì)算機(jī)（可選）
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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