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FR-Mic-Thetametrisis膜厚儀
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
Dymek岱美儀器-全光譜橢圓偏光測厚儀SE950
FR-uProbe-LC-光學顯微鏡適配器
F50-Filmetrics 自動化薄膜厚度測繪系統
EVG560-晶圓鍵合自動系統
EVG805-半自動系統(晶圓鍵合機)
AVI-400-Herz 主動式隔振臺
LODAS™ – BI12-GlassWafe缺陷檢查裝置
Photomask Blanks缺陷檢查 LODAS™ – BI8
LODAS™ – AI50/100
GEMINI FB XT-GEMINI (FB XT) EVG晶圓鍵合自動生產系統
Nano X-2000S-Subnano3D干涉輪廓儀
EVG610-EVG單面/雙面掩模對準光刻機
Herz 桌面式主動隔振臺-TS系列
P03Q-6LS Plasma-微波等離子清洗機
等離子去膠
FR-ES:精簡膜厚測量儀
EVG501-EVG501 晶圓鍵合機 微流控加工
EVG101-EVG101 勻膠機 微流控加工 光刻膠處理機
EVG301-EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合
EVG810 LT-EVG810 LT 低溫等離子活化系統
EVG805-EVG805半自動解鍵合機 鍵合剝離 臨時鍵合
EVG610 BA-EVG610 BA 鍵合對準系統 微流控加工
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