愛儀器:
適合于無塵室1000級以上的烘烤制程,產品在加熱過程中,容易產生氧化的加工物及防止微塵附著,均建議用此烤箱烘烤,以電子產業中的祛除水份、膠干燥、調質、預熱為主。如IC封裝前后制程、晶圓烘烤、LCD配向應用等…… |
1、內膛材質:304#無磁性鏡面不銹鋼板制作。 2、外膛材質:SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜處理后,兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵PARTICLE。 3、內膛采全機氬焊熔接、外膛施以矽膠填縫;內外結合,并采用350℃矽膠迫緊;可得*之無氧、無塵之烘烤環境。 4、內膛籠型設計,可防止熱型變。外膛保溫材質以高級耐溫巖棉六面保溫,省電性佳。 5、層流風路設計:配合爐內飽合釋壓機構可得zui勻稱之均勻分布溫度,釋壓風口以不銹鋼材質制作。 |
6、送風機軸采用特殊軸封。
7、耐高溫、高濕進口HEPA Filter(99.99),Class100~Class10(可定制),附壓差計、壓力計。
8、特制型控制面板,多重安全回路設計。
9、美制N2惰性氣體流量計,雙數字顯示可程式自動控溫器,配合超溫斷熱系統,多重保護設計。
10、附使用說明書、線路圖、保證書、備份保險絲。
型式 | HOCR-1 | HOCR-2 | HOCR-3 | HOCR-4 | 備注 |
內尺寸 | 45*40*45 | 60*50*65 | 60*50*95 | 80*60*105 | 1、常溫加20℃-250℃。(制式) 2、H為350℃機種。 |
外尺寸 | 86*74*125 | 98*80*139 | 98*80*170 | 116*88*179 |
電力 | 220V 3KW | 220V 5KW | 220V 7.5KW | 220V 9KW |
保溫 | 進口巖石棉保溫絕熱。(H型再加2層耐1260℃陶瓷棉) |
保護 | 電子、機械雙重回路保護、超溫保護、無塵型加壓差指示。 |
進氣量 | N2,CO2;MAX:25L/min(at 0.5kg/cm2 G; 20/0c) |
·本公司對產品規格、設計特性均不斷研究改進,上述規格若有變更,恕不另行通知。 |