美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機電驅動系統

• 完整的軟件工具

• 任意/函數波形發生器

• 精確的信號放大

• 立體變焦三目顯微鏡

• 高分辨率視覺系統

• 實驗室微型探針臺應用

• MEMS/NEMS器件

• 壓電器件

• 傳感器開發

• 微型驅動器

• 教育, 科研, 技能培訓

美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機電驅動系統

TEGAM9072J 型高壓微機電驅動系統具有高分辨率，高電壓波形，

價格經濟實惠，是一套適合目前科研人員，學生和老師使用的強大工

具。教師通過外接投影儀可以用該系統向學生展示理論概念，而科研

人員能以視頻和圖片的方式記錄設備操作以便于相互之間的合作。

9072J高壓微機電驅動系統*推出了一套用于微電子器件驅動和可

視化測量的完整系統。

MEMS移動

自 從 MEMS技術產生以來 ，TEGAM產品就一直用于MEMS器件的驅動。

通常使用三個工具即可實現MEMS移動：

1. 一個任意波形發生器

2. 一個功率放大器

3. 一個夾具或一個探頭

使用波形發生器可實現適當的驅動觸發，發生器通常限定為10 Vp - p。

根據被驅動的元器件不同所要觸發的振幅也有所不同。電壓放大器可

以把發生器的低電壓輸出幅度提高到更高的驅動值，以滿足微電子器

件測試時的驅動電壓值。因為大多數的器件都有正常的操作頻率和振

幅，所以老師和學生應采取一定預防措施來選擇合適的驅動值。科研

人員在生產MEMS/NEMS器件時應該從低頻率和低電壓開始，逐步提高

兩項的值以達到期望的結果。

問題

微機電器件是如此之小，如果沒有視覺輔助系統就檢測不到它的正常

移動。科研人員通常使用單一的光學檢測顯微鏡觀察移動，但是這種

檢測方法對于一些小組成員，想集體觀察實時發生的情況是有局限性

的。完整的測量系統還需補充額外的驅動觸發和測量設備。

TEGAM的解決方案

9072J高壓微機電驅動系統包括：

1.2732：雙通道任意波形發生器

2.軟件：Excel/WaveWorks DDS,

Video Image Express

3. 2350：雙通道電壓放大器

4. 戴爾電腦

5. 顯微鏡/照明

6. 微探針臺

7. 高分辨率視覺系統和軟件

函數發生器

TEGAM9072J型高壓微機電驅動系統包括一個2732函數發生器，

它具有兩個單獨的通道，可提供兩個獨立的達50MHz的波形。 2732

同時具有同類任意波形發生器中zui大的存儲量，達400萬點的數據存

儲，擁有14位分辨率。

函數發生器軟件

隨 機 的 軟 件 包 為 WaveWorksDDS TM ，允許進行逐點的操作和

創建波形。創建后的、可達400萬點×2通道的波形，可通過RS-232接

口 或 GPIB接 口 下 載 至 儀 器 。WaveWorks DDS TM 軟件也可以從

泰克，力科，安捷倫等公司大多數的示波器中導入波形。創建波形的

另一個有用工具是Microsoft Excel，用Excel表中普通的數學函數功能

就能夠創建不同的波形，長度可達65,535點。用戶還可以在Excel中

用圖表工具預覽波形數據。生成的數據可以保存到文件中，然后導入

WaveWorks DDS TM 軟件。2732采用逗號描述導入方式， 可從允許逗

號分隔文件的任何軟件中導入數據，如MATLAB®，示波器文件，或從

其他可生成CSV格式的設備中導入數據。

電壓放大器

TEGAM2350型電壓放大器被用做2732函數發生器的補充放大器。

9072J高壓微機電驅動系統中包括一個固定增益為50倍的，2350型雙

通道放大器。

許多微機電器件需要超過100 Vp – p的驅動觸發，2350放大器擁有400

Vp - p的zui大輸出電壓，能夠滿足目前MEMS元器件的驅動需求和未

來可能的技術發展。在40 mA的連續電流下，2350可以驅動達200pF

的電容負載，同時保持200kH  z的全功率帶寬。

計算機/顯微鏡/照明

9072J高壓微機電驅動系統還包括一個PC機，預裝的軟件包括：

1. WaveWorks DDS

2. Excel

3. Video Image Express Control

和測量軟件

三目立體顯微鏡同步實現現場立體觀測和攝像頭成像。每個系統都配

備一個360°的無影環形熒光照明器，以便實現合適的照明。

攝像頭

USB2.0接口的攝像頭無需復雜的視頻采集卡即可快速、輕易的獲取圖

像。攝像頭分辨率可選，能夠達到每秒25幀的實時圖像觀察。高分辨

率(300萬像素)的圖像捕捉性能極其適合于檢測使用。而一個簡單的

用戶軟件界面即可實現對攝像頭的控制，只要點擊一下鼠標就可以捕

捉到圖像并以.jpg和.bmp的格式保存圖像。

微探針臺

這個堅固耐用的基礎探針臺可用于先進的有源和無源器件的研究，也

可用于高校的教學和培訓。探針臺由一個真空固定的精密的X-Y軸和Z軸

升降臺組成。為便于操作，測試設備的移動不依賴探頭位置的作用。堅固

的三軸定位在X軸，y軸和Z軸上有25mm的調整范圍，并磁附到平臺上。

參數

美國TEGAM簡介

TEGAM 公司成立于1979年，總部和生產設在美國俄亥俄州克里夫蘭市東，專注于設計、生產多種測試測量和校準儀器。

TEG AM 公司微歐計和阻抗測試產品廣泛應用于軍用和民用航空業的設計、制造和維護M R O 過程中的各個檢測環節，使

用TEG AM 公司儀器的客戶包括：

•  波音公司

•  麥道公司

•  洛克希德.馬丁公司

•  斯科斯基公司

•  貝爾直升機公司

•  休斯直升機公司

•  羅克韋爾公司

•  通用動力公司

•  眾多航空公司的MRO基地

•  美國國防機構

校準和服務計劃

校準、延長保修期和服務計劃適用于所有的TEG AM 產品。這些計劃節省您的時間和花費，并且確保您的儀器性能得到優化。這些計劃可以伴隨著新儀器的采購、以優惠的價格購買。TEG AM 獲得更多信息。

實驗室認證

TEG AM 公司符合ISO /IEC 17025;2005中“測試和校準實驗室能力的通用要求”的條件和要求，通過了 A2LA (美國實驗室認證委員會)的認證，達到ISO /IEC 17025:2005的要求。認證號碼 2018.01.

R 1L-E2A本安型搭接電阻表和微歐計，滿足的標準. ATEX Ex ia IIA T4 G a和 C -U L-U S Listed C lass I D iv.1,G roup D com pliance w ith AN SI/U L 913-1988, Fifth Edition, 21 Feb.,1997