Thermo Scientific 循環冷卻器、水- 水熱交換器和用戶定制解決方案
無論是光刻、注入、刻蝕、沉積、拋光、封裝還是半導體測試，Thermo Scientific™循環冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。憑借在半導體行業30 多年的溫度控制專業技術，我們提供標準產品及用戶定制產品、溫度控制技術的專業知識以及化服務，有助于滿足您從光刻到最終測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。
1 上述參數是在海平面高度用水作為循環流體，在過程設定點為+20℃，環境條件為+25℃及標稱工作電壓下得出的。制冷能力基于帶P2泵的冷卻器，無背壓。規格如有變更，恕不另行通知。多種泵可選；其他泵會影響制冷性能。
2 上述參數是在海平面高度用乙二醇和水（比例為50/50）的混合物作為循環液體，在過程設定點為20℃，環境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。規格如有變更，恕不另行通知。制冷能力基于帶PD1泵的裝置，無背壓。其他泵會影響制冷性能。
3 上述參數是在用水作為循環液體，在水設備的過程溫度為10℃下得出的。不同的水設備溫度會導致不同的冷卻能力。規格如有變更，恕不另行通知。
4 在不同國家和地區使用時，應選擇合適頻率和電壓。
5 上述參數是在海平面高度用水作為循環液體，在過程設定點為20℃，環境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。
產品特色
? 根據具體用途，設計的溫度控制解決方案 ? 專業溫度穩定技術：可達+/- 0.001 ℃
? 使用不銹鋼材料，減少腐蝕 ? 波動低
? 噪音低 ? 擁有使用 HFE（氟化）特殊流體的經驗
? 符合半導體合規性，包括： ? SEMI S2/S8/S14/F47
? CSA/UL ? CE
? RoHS ? WEEE
為您的投資保駕護航
您的進程取決于具有穩定可靠，始終如一性能的產品。從啟動和檢查到完整的清潔維護，我們提供完整的服務解決方案來滿足您的需求，由工廠進行修理和維護。
Thermo Fisher 的溫控產品遍布
我們擁有服務網絡，我們的直屬和服務專業人才遍布世界，為客戶提供支持：
? 地區呼叫中心
? 地區服務中心
? 地區經銷商網絡
Thermo Fisher 支持的產品包括：
? Steelhead ? Endura SYS III ? DIMax、DIMax II
? HTD ? ThermoChill 系統 ? MX500/900
? HX 150/300 ? CFT ? ThermoFlex
? SWX ? 所有Neslab 品牌
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