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高精度智能配氣儀是基于熱式氣體質量流量控制器，來進行各種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置，可稀釋范圍寬，精度高。可根據客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制和二次編程。還可以定制加入一些溫度、壓力的監測功能；壓力調節功能；濕度控制功能；數據記錄功能；故障報警提示功能；可以說是一整套氣體解決方案。

適用研究方向：氣體傳感器，氣敏元件，燃料電池、生物化工，生物工程等需要極低濃度長時間穩定輸出的工況。

設備功能：高精度智能配氣儀通過自動動態調節兩級氣體配比流量，逐級配氣，并通過創新算法及管路結構達到高于普通一級配氣三個數量級的濃度配比輸出。

技術特點：

濃度配比輸出范圍寬可以實現 1ppb-90%的濃度比例輸出

通過創新的結構及軟件控制方式可實現長時間穩定低濃度氣流輸出

設備可按照客戶定制氣體種類及應用工況溫度

可直接按輸出濃度自動配氣

主要參數：

流量范圍：0-10SLM

濃度輸出范圍：1ppb-99.9%

氣源要求：純氣

加熱溫度：室溫-100℃

氣體：N2、H2、02、He、Ar、CH4、S02、C02、CO、等氣體