您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
19270095986
當前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>熱處理設(shè)備>> H83-50 H83-125 H84-125日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號H83-50 H83-125 H84-125
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-11-25 15:25:46瀏覽次數(shù)：48次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備
這是一款高度可靠的熱處理爐，擁有 30 多年的良好記錄。可用于200mm硅片的氧化、擴散、退火等熱處理。
這是一種臥式爐，用作氧化爐、擴散爐和退火爐。
可以在一臺設(shè)備上選擇不同的進程。
我們的目標是通過使用 3 層或 4 層配置來節(jié)省空間。
5 個區(qū)域加熱器均獨立控制，可實現(xiàn)溫度控制，具有出色的熱均勻性和穩(wěn)定性。
配備內(nèi)部控制系統(tǒng)，操作簡單可靠。
H83-125和H84-125標配船用升降機，可以輕松裝載到上層。
可以進行諸如熱解氧化、濕式氧化、干式氧化、使用三氯氧化磷(POCl 3 )和三溴化硼(BBr 3 )的磷擴散、硼擴散和退火等工藝。
硅片的熱氧化、擴散和退火
| 模型 | H83-50 | H83-125 | H84-125 |
| 過程 | 氧化、擴散、退火 | ||
| 晶圓直徑 | ～200mm（8英寸） | ||
| 級數(shù) | 3 | 3 | 4 |
| 產(chǎn)品晶圓數(shù)量 | 50 | 125 | 125 |
| 加熱區(qū) | 5 | ||
| 加熱器材質(zhì) | 鐵鉻鋁 | ||
| 常用溫度 | 600～1200℃ | ||
| 浸泡長度 | 370毫米 | 800毫米 | 800毫米 |
| 溫度均勻 | ±1.0℃ | ||
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結(jié)算頁價格為準或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
化工儀器網(wǎng)