19270095986
當前位置：玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發科>>化學氣相沉積設備>> CME-200E/400日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備
日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備
日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備
單片式PE-CVD設備CME-200E/400是適合批量生產的PE-CVD設備，適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。
27.12MHz高密度等離子工藝
SiH 4型：SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型：可提供 SiO 2薄膜
可使用NF 3 +Ar 等離子體清潔腔室
可配備用于有機EL低溫成膜的加熱器
通過托盤傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板（CME-200E）（支持CME-400：300×400）
功率器件
LED、LD、高速器件
有機EL
太陽能電池
微機電系統
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結算頁價格為準或者是您與商家聯系后協商達成的實際成交價格為準；如您發現活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
具體的成交價格可能因商品參加活動等情況發生變化，
也可能隨著購買數量不同或所選規格不同而發生變化，
如用戶與商家線下達成協議，以線下協議的結算價格為準，
如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結算頁價格為準。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
化工儀器網