特點

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

• HAADF-STEM圖像0.136 nm，FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)

• HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)

• 明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍

• 元素面分布更迅速及時

• 低濃度元素檢測

操作簡化

• 自動圖像對中功能

從樣品制備到觀察分析實現無縫連接

• 樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容

配有各種選購件可執行各種評估和分析操作

• 同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。

• 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至低)

• 高精度放大校準和測量*

• 實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)

• 采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*，具有自動傾斜圖像獲取功能。

• ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)