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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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SSC-RGA6500小分子在線質譜儀的主要應用方向,半導體工業、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器;CO2還原,程序升溫脫附、化學化工、儲能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產氣、光催化水制氫燃料電池研究、發酵微生物呼吸氣體監控、人呼吸監控、環境氣體分析、地質分析、冶金過程、各種催化過程等等。
小分子在線質譜儀與TGA實現聯用,能夠快速地分析熱重測試過程中逸出氣體產物;在線質譜儀可與各種催化劑評價裝置,反應釜,氣相色譜等連用,在線實時檢測過程中的氣體組成及其含量;在線質譜儀可以與化學吸附儀連用,對程序升溫過程中的逸出氣體進行定性和定量分析。
1. 進樣管加熱,可達350℃
2. 易操作界面,10英寸彩色觸摸屏,可全面控制儀器運行、采樣分析、顯示譜圖
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本,如特殊進氣系統、特殊外殼
5. 質量范圍標配1-200amu;可選1-100amu、、1-300amu
6. 軟電離選項(1-100eV)
7. 耗氣量低(1-2sccm)
8. 響應快(駐留時間最短1ms/amu)
通過質量數判斷進樣氣體組分,得到真空系統中的工業氣體的成分和相對濃度信息,分析真空系統的密封性、脫附行為等,便于用戶判斷真空室及真空組件的狀態,如下圖中質譜圖所示
過程檢測/檢漏
在設置的質量數范圍進行全掃描或選擇掃描,長時間對某幾類氣體進行監控(含報警功能)以觀察真空腔體內氣體組分濃度隨時間的變化,如下圖中時間趨勢圖所示
環境溫度 | 15-35℃ | |
相對濕度 | ≤85% | |
適用電源 | 220V(±10%),50Hz(±2%) | |
主要性能指標
| ★質量范圍 | 1-200 amu |
進樣管 | 石英毛細管/不銹鋼毛細管 | |
★毛細管溫度 | ≥350℃ | |
腔體加熱溫度 | ≥200℃ | |
進樣管入口壓力 | 0.5-2.5atm | |
進樣管長度 | 1m/2m | |
靈敏度 | ||
最小可檢測分壓 | 1.25E-10Pa | |
質量準確性 | ±0.10 amu | |
▲儀器最小檢測限 | ≤100ppb | |
檢測范圍 | 100ppb-100% | |
▲駐留時間 | 1ms – 16s/amu | |
▲分辨率@10%峰值高度 | 0.5-2amu可調 | |
掃描方式 | 全掃描、選擇離子監測 | |
整機尺寸(長×寬×高) | 655×358×318 mm | |
▲重量 | 29.3kg | |
接口 | 以太網LAN×1、USB×1 | |
離子源
| 離子源類型 | 開放式離子源 |
離子源配置 | 雙燈絲軟件切換 | |
燈絲電流 | 1000μA | |
離子化能量 | 1-100eV | |
燈籠電壓 | 1-140V | |
質量分析器 | ★質量分析器 | 配備預四極的高精度全金屬雙曲面四極桿 |
四極桿尺寸 | 98.5*24.6*6 mm | |
檢測器 | 法拉第杯和電子倍增器,對低濃度物質使用法拉第杯檢測器,高濃度使用電子倍增器測定 | |
真空系統 | 前級泵 | 無油隔膜泵,抽速≥0.6 m3/h |
▲配置高性能渦輪分子泵,抽速≥67L/s | ||
軟件工作站 | ★質譜儀全中文一體化控制軟件工作站 | |
實時監控 | 可設置監測離子物質,設置監測強度閾值,超過一定分壓即實時查看到超標物質并打開蜂鳴器 | |
對質譜圖中不同質量數進行元素定性功能 | ||
化合物定量MCD采集功能 | 通過加載已知組分含量的標準氣體,再新的樣品后可以得到對應化合物濃度 |
1. 安裝、校準與試運行:儀器制造廠授權技術員在買方用戶現場免費安裝調試,技術指標合格。
2. 培訓:提供技術服務,現場培訓內容(包括儀器基本原理、操作使用及日常保養維修等),培訓工作直至技術人員能獨立操作為止。
3. 質保與維修:儀器廠商提供1年的免費保修服務。
4. 技術資料:提供儀器設備的安裝、操作手冊、維修保養手冊等技術文件,及產品合格證、質量保證書和產品軟件等全套資料。
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