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精品KAKUHUNTER寫真化學紅外透射膜厚監測儀
精品KAKUHUNTER寫真化學紅外透射膜厚監測儀
特征
紅外透射膜厚監測儀可測量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測厚儀,可用于從實驗室水平到生產過程中100%在線檢測的所有情況。
這是一種紅外薄膜測厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學系統,可通過 100 多個波長的光譜同時精確測量薄膜厚度、密度和成分等多個參數。
1
測量半透明片、低反射膜、硅等
的厚度,這是使用光學干涉測量法難以做到的。2
小型光纖探頭
通過使用小型30mm反射探頭,
可以安裝在設備或生產線內的狹小空間內。另外,探頭
與主體僅通過光纖
連接,因此具有優異的耐環境性。3
高速測量100多個點同時采樣
950至1650 nm的近紅外波長可以實現短至 1 毫秒的高速采樣。
可在生產線上進行實時檢測和測量。
由于不會旋轉干涉濾光片等,因此具有出色的耐用性和可靠性。4
厚度測量重復性0.1%以下(3σ)
5
兩種可選的測量算法
測量算法 校準樣品 測量目標 蘭伯特-比爾法 1 種 僅厚度 最小二乘回歸法 2種以上 多重(厚度、密度、特定成分的混合量等)
測量示例(鋰離子電池隔膜)
可以同時測量厚度和涂層重量。
測量示例(硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚)
現在可以測量硅基板上黑色抗蝕劑的厚度,這對于使用反射光譜的光學干涉膜厚計來說是很難做到的。