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今日推薦KAKUHUNTER寫(xiě)真化學(xué)成像膜厚計(jì)
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這是一種膜厚計(jì)，可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。
由于使用光學(xué)干涉法計(jì)算膜厚，因此可以
以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。
測(cè)量顯微鏡視野內(nèi)任何區(qū)域的
膜厚和膜質(zhì)量分布，并以 3D 形式顯示分布
分辨率相當(dāng)于可見(jiàn)光波長(zhǎng)干膜測(cè)厚儀
波長(zhǎng)范圍從 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量
使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計(jì)算引擎進(jìn)行并行計(jì)算
應(yīng)用實(shí)例
① 數(shù)百層重復(fù)層壓薄膜、溝槽等復(fù)合結(jié)構(gòu)。
② 使用 EMA（有效介質(zhì)近似）法估算亞微米圖案的密度
③ 局部結(jié)晶度評(píng)價(jià)
您可以根據(jù)工作和應(yīng)用選擇物鏡。
我想輕松測(cè)量透明多層薄膜每一層的厚度。
我想自動(dòng)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度。
我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。
我想測(cè)量半透明板的厚度。
