MS系列高精度工具測量顯微鏡

結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車行業、計量行業等領域的檢測。

采用優異的無限遠光學系統，搭配長工作距金相物鏡，配合六孔電動轉換器 ，在滿足大視野觀測、大工作距測量需求的同時，還提供了高倍率和高精度的保障。無論是測量大型部件還是精細元件，或是表面高度差異大的樣品，MS系列都能為用戶提供最佳的解決方案。

功能高度集成的一體式設計

MS 既預留了臺式主機的位置，又在使用者面前放置了可收起的鍵盤。兩個方向上的手輪以及各類按鈕，均符合人體工程學，使用者無需站立，便可輕松實行操作。

仰角可調觀察筒

這款觀察筒傾斜角在 5°至 35°之間可調。無論是站立或坐著，都能最大限度滿足用戶的操作需求，同時也無需擔憂用戶的身高差異。

大行程載物臺

有多種行程的載物臺可供選擇 , 分別為 200mm×100mm、300mm×200mm、300 mm×300mm、400 mm×300mm。無論樣品大小，均能滿足用戶的測量需求。若用戶有特殊需求，也可按需求定制平臺。

精密測量功能

采用0.1um讀數的3軸測量系統，Z 軸最大行程可至150mm，利用集成在機架上的高精度電動控制器控制 Z 軸。三檔不同調速可供選擇，調焦可操作性強，提高效率，降低疲勞。

獨立裂像光源輔助對焦

獨立的裂像光源控制器，可根據樣品不同背景進行光源亮度調節，清晰準確顯示最佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換。

自主研發測量軟件

MS 配備了操作簡單，功能強大的測量軟件，客戶可根據需要設置測試偏好。配合電動轉換器，倍率自動識別，減少客戶手動倍率選擇錯誤。即使對復雜的形狀，也可以進行高精度的測量。

MS系列高精度工具測量顯微鏡應用實例