AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產晶圓搬運機，兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查

一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類配置，分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活 。

AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產晶圓搬運機可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便。

360°宏觀檢查

AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。

人機工程學設計

LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。

精密微觀檢查

采用專業半復消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。

AWL 應用領域