產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 化工,電子 |
產品簡介
詳細介紹
WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機。根據您的要求,機器人自動搬運、自動測定、自動判定,可全自動工作。已經積累了在多個客戶的量產線上連續運轉的實際業績,獲得了高度的評價。
晶圓檢查專用機 WAFER LINE特點規格:
根據您的要求,還可制作以下規格的裝置。
· 半導體前工序的生產線設置用
裝置內處理室清潔度3級(ISO)以上(在潔凈室內組裝裝置)。
SUS箱體、支持FOUP。
· 晶圓檢查專用機 WAFER LINE高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點探頭設備相比,電子掃描式陣列探頭設備可以做到高速顯示。
(機械部分的運動少,也有助于保持清潔度)
支持晶圓 | 4~12英寸晶圓 |