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產品介紹

LVHT系列恒溫加熱探針臺是我司根據高校科研及產業研發需要，而特定設計的一款高精密控溫探針臺，系統兼顧位移調節精度及控溫精度，實現測量芯片在不同溫度下的電學性能變化，廣泛應用于光電半導體等相關領域。

技術優勢

· 模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試

· 最大可用于12英寸以內樣品測試

· 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節

· 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電mapping測試

· PID控溫，可加熱至300℃，精度±0.1℃，均勻性±5℃

· 滿足1μm以上電極/PAD使用

· 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）

· 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計

· 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座

· 顯微鏡可二維精密調節，且可選配多種行程及驅動方式

模塊介紹

通用參數

常規選型

相關配件

多種精度，多種夾具類型探針座

同軸線纜，三同軸線纜

各種類型探針

真空泵

電學測試夾具

電磁屏蔽箱

應用領域

半導體材料光電檢測，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，測量表面電阻率測試，精密儀器生產檢測，航空航天實驗室。

譜量光電可以根據客戶實際應用需求，定制配套恒溫加熱探針臺系統，以達到更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯系詳詢