1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測量高達(dá) 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供寬的光譜范圍、佳的信噪比和高的可選光譜分辨率。可以測量厚度達(dá) 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測量速度與二管陣列配置相比，二管陣列配置也可選擇高達(dá)1,700 nm。

2. 主要功能與優(yōu)勢

寬的光譜范圍和高的光譜分辨率

SENTECH SENresearch 4.0 橢圓偏振光譜儀覆蓋從 190 nm（深紫外）到 3,500 nm（NIR）的寬光譜范圍。該器件具有高光譜分辨率，可使用 FTIR 橢圓偏振法分析厚度達(dá) 200 μm 的厚膜。

無運(yùn)動部件，符合 SSA 原理

在數(shù)據(jù)采集過程中沒有移動的光學(xué)部件，以獲得佳測量結(jié)果。步進(jìn)掃描分析儀 （SSA） 原理是 SENresearch 4.0 光譜橢偏儀的一個功能。

通過創(chuàng)新的 2C 設(shè)計實現(xiàn)全 Mueller 矩陣

通過創(chuàng)新的 2C 設(shè)計擴(kuò)展了 SSA 原理，可以測量完整的 Mueller 矩陣。2C 設(shè)計是一種可現(xiàn)場升且經(jīng)濟(jì)高效的配件。

3. 靈活性和模塊化

電動金字塔測角儀的角度范圍為 20 度至 100 度。光學(xué)編碼器確保了高精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢圓儀臂可以獨(dú)立移動，以進(jìn)行散射測量和角度分辨透射測量。

該工具根據(jù)步進(jìn)掃描分析儀 （SSA） 原理運(yùn)行。SSA將強(qiáng)度測量與機(jī)械運(yùn)動分離，從而可以分析粗糙的樣品。在數(shù)據(jù)采集過程中，所有光學(xué)部件都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外，SENTECH SENresearch 4.0 包括用于映射和原位應(yīng)用的快速測量模式。

SENresearch 4.0 的定制橢圓儀可以針對標(biāo)準(zhǔn)和高應(yīng)用進(jìn)行配置。例如介電層堆棧、紋理表面以及光學(xué)和結(jié)構(gòu) （3D） 各向異性樣品。為各種應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方。