1. 產品概述:
Miracle Vision系列提供了非接觸的表面形貌測量,具有可重復性,可廣泛應用于半導體芯片、光學透鏡、金屬表面、汽車涂層、MEMS器件等廣泛精密加工行業的形貌、粗造度長度、曲率、深度、體積、顆粒分布等形貌測量,同樣適用于航天、醫療、材料、科學研究域。可檢測各種粗糙度、各種反射率的器件表面,檢測器件的表面尺寸從納米、微米到毫米,都可由同一臺設備完成,提供主流的國內外標準下,上百種測量參數,將觀測細節可視化、數據化,一次完成。由于物鏡的小分辨率和長焦深不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長焦深范圍內小尺寸特征和結構,托托科技采用景深融合技術,一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像。景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化,實現對物體的三維表面測量和特征描述,能夠詳細檢查物體表面,并以長景深的方式獲取精確的三維成像。白光干涉形貌儀是一種快速且高分辨率的技術,用于大范圍的表面拓撲測量,能夠實現亞納米分辨率的重建。