1 產品概述:
探針臺是一種精密的電子測試設備,主要用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。它集成了載物臺、光學元件、卡盤、探針卡、探針夾具及電纜組件等多個部分,能夠確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號,從而進行高精度的電氣測量。探針臺根據操作方式可分為手動、半自動和全自動三種類型,每種類型都有其特定的應用場景和優勢。
2 設備用途:
探針臺的主要用途包括:
半導體測試:在晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節,探針臺負責晶圓的輸送與定位,確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現更加精確的數據測試測量。它廣泛應用于晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。
光電行業測試:在光電行業中,探針臺同樣用于測試光電元件和組件的性能,確保產品的質量和可靠性。
集成電路測試:探針臺可用于集成電路的測試,包括功能測試、電參數測試等,幫助工程師評估和優化集成電路的性能。
封裝測試:在封裝工藝之前,探針臺可以對封裝基板進行測試,確保封裝過程中不會出現質量問題。
3 設備特點
探針臺具有以下顯著特點:
高精度:探針臺配備高精度的定位系統和微調機構,能夠精確地將探針定位到芯片上測試點,并實現穩定的接觸,確保測試的準確性和可靠性。
多功能性:探針臺可用于多種測試場景,包括晶圓檢測、芯片研發、故障分析、網絡測量等,具有廣泛的應用范圍。
自動化程度高:全自動探針臺通常配備有晶圓材料處理搬運單元(MHU)、模式識別(自動對準)等功能,能夠自動完成測試序列,減少人工干預,提高測試效率。
靈活性:探針臺可根據測試需求進行配置和調整,如可選配接入光纖,將電學探針替換為光纖,提高測試靈活性。
4 設備參數:
出色的測試精度:短 DUT 和 ISP 分離,實現佳光收集,骰子偏移補償
通過熱卡盤支持實現準確穩定的溫度控制。
可編程拾取和放置力在5g~200g之間。
全屏蔽暗盒設計消除了不必要的照明干擾。
具有高引腳數探測能力(4 ~ 256 通道)的多站點測試,可實現高吞吐量。
電學/光學特性的綜合統計和分析工具:色度 (xyz)、強度、輻照度。