1.產品概述：
本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩定、模塊化結構，采用行業的軟件控制系統。
2.設備特點：
本設備是一個鍍膜平臺，可把磁控靶拆下換電子槍成為電子束鍍膜系統、或換蒸發源作為熱蒸發系統、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統等。
設備用途：用于納米單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。
3.真空室：
真空室結構:方形開門
真空室尺寸:φ500x500x500mm
限真空度:≤3.0E-5Pa
沉積源:永磁靶4套，φ2英寸
樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，高800℃
占地面積（長x寬x高）:約2米×1.7米×2米
電控描述:全自動
工藝:具備計算機化的工藝自動化功能。
片內膜厚均勻性：≤±3%
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