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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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無針孔薄膜沉積設(shè)備

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號AL-1

品牌SAMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間：2024-09-06 11:36:36瀏覽次數(shù)：181次

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AL-1無針孔薄膜沉積設(shè)備通過交替向反應(yīng)室提供有機(jī)金屬原料和氧化劑，僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜，實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外，可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜。可同時沉積3片ø4英寸的晶片。

1. 產(chǎn)品概述

AL-1通過交替向反應(yīng)室提供有機(jī)金屬原料和氧化劑，僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜，實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外，可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜。可同時沉積3片?4英寸的晶片。

2. 設(shè)備用途/原理

用于下一代功率器件的柵氧化膜和鈍化膜。在3D結(jié)構(gòu)上形成均勻的薄膜，如MEMS。激光表面的沉積。碳納米管的鈍化膜。

3. 設(shè)備特點

成膜效率高，通過提供幾十毫量的脈沖，減少了原材料的損耗，提高了沉積效率。真空清潔，溫度不均勻性小，通過緊貼反應(yīng)室內(nèi)壁的內(nèi)壁加熱器，抑制反應(yīng)室的溫度不均勻，可獲得清潔的真空。無針孔成膜，由于多種驅(qū)體在反應(yīng)室中沒有混合，因此可以防止顆粒，形成無針孔的薄膜。


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