法蘭

吸氣口ISO-R/CF

100

160

160

200

250

排氣口

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

排氣速度

N2（附加金屬過濾網）

320L/s

370L/s

860L/s

1230L/s

2300L/s

H2

290L/s

300L/s

1050L/s

1200L/s

1100L/s

大壓縮比

N2

1×10⁸

1×10⁸

1×10⁸

1×10⁸

1×10⁸

H2

4.3×10³

4.5×10³

1.5×10⁴

1.5×10⁴

1.5×10³

極限壓力

ISO-R/CF

＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa

＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa

＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa

＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa

＜1×10^-6Pa

可達氣體流量

N2（sccm）

2000

2000

3000

3000

3000

推薦輔助泵

≥160L/min

≥160L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥500L/min

容許輔助壓力

400Pa

400Pa

500Pa

500Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

14/17

14/17

34/42

34/42

45/54